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用語解説

ステッパーとは

ステッパーとは、IC、LSIなど、

半導体の製造過程で使われる装置の一つで、

縮小投影型露光装置のこと。

ステッパーは、具体的にはシリコンなどのウェハに回路を焼きつけるため、

ウェハー上にレジストを塗布し、

レチクルのパターンを投影レンズにより1/4から

1/5に縮小しウェア上をステップ(移動)しながら投影露光する。

ステッパーは、IC製造における超微細加工の要といえるフォトリソグラフィの中核的装置。

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